上海微电子：国产光刻机领军企业，驱动半导体装备自主创新

上海微电子装备集团作为国内光刻机巨头，专注ArF与KrF浸没式技术，其SSA800系列支撑90nm以下芯片制造，已交付首台2.5D/3D先进封装光刻机。

通过技术迭代与市场化分拆，SMEE降低进口依赖，预计2025年份额达20%，为下游企业节省成本30%以上，助力AI与HPC芯片本土化。

未来，上海微电子将推进大视场高分辨率设备量产，强化半导体生态，驱动产业高质量发展。