氦气增压泵工作原理及在半导体工业中的应用选型指南

氦气增压泵采用无油润滑设计，避免污染，确保氦气纯度达99.999%。泵体材质多为不锈钢，耐腐蚀性强。

在半导体制造中，用于真空系统增压，流量范围10-100L/min，压力可达10-50bar，根据需求选型。