六氟丙烷的工业特性与应用:半导体制造中的关键氟化气体
化工材料
2025-12-19
查询: 六氟丙烷
关键词:
六氟丙烷
摘要:六氟丙烷用于等离子蚀刻和清洁过程,具有高稳定性和低毒性。
六氟丙烷(C3F6)是一种无色无味气体,沸点-29.8°C,常用作半导体行业的干法蚀刻剂,提供精确的材料去除。
其优点包括环境友好替代CFCs,全球变暖潜势较低,在光伏和显示器生产中提升工艺效率。
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发布时间:2025-12-19
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