真空泵主要分为机械泵和扩散泵两大类。机械泵如旋片式真空泵,通过旋转叶片压缩气体,实现中低真空,适用于化工和食品加工。
涡旋式真空泵采用螺旋结构,无油设计,噪音低,适合半导体和制药行业,提供清洁真空环境。
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分子泵利用高速转子碰撞气体分子,达到高真空,用于精密仪器制造,选择时需考虑抽速和极限压力。
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