近年来,中国半导体设备企业如中微公司、上海微电子和北方华创等快速发展,在刻蚀机、薄膜沉积和光刻机等领域取得突破。国产设备市场占有率稳步提升,部分产品已达到国际先进水平。
国家政策大力支持半导体产业,集成电路大基金等多轮投资助力企业研发。设备公司加大自主创新力度,掌握核心技术,降低对进口设备的依赖。
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未来,随着5nm及以下先进制程需求增长,中国半导体设备企业将继续深化技术攻关,推动全产业链国产化,实现高质量发展。
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