EBARA干真空泵在半导体制造工业中的性能与维护策略

在工业应用中，EBARA干泵避免油污染，适用于PVD和蚀刻过程，提高产量和产品纯度。

泵型如EV-A系列集成高效电机，降低能耗，适合太阳能电池和LED制造。

维护包括定期检查转子和过滤器，确保长期稳定运行，符合工业安全标准。