高效制取超纯水设备在电子半导体行业的关键应用与技术优化策略

制取超纯水设备采用反渗透、离子交换和紫外消毒等技术，去除水中杂质至ppb级别，适用于半导体制造。

设备运行中需监控电阻率和TOC指标，定期更换滤芯以维持高效产水率，避免污染源影响。