MKS质量流量计精密测量技术：在气体流量控制中的应用优势

MKS质量流量计基于热扩散原理，实现实时质量流量测量，精度高达±1%，适用于半导体和化工行业。

其数字接口支持远程监控，减少人为误差。维护时定期校准传感器可确保长期可靠性。