哪些工具适用于半导体设备维护？

维护半导体设备需精密工具，如数字万用表用于电路检测。确保电压和电流稳定，避免静电干扰。

真空泵和压力表是洁净系统关键，定期校准以维持负压环境。漏气检测仪可快速定位故障点。

软件诊断工具如LabVIEW集成测试自动化，分析数据日志识别异常趋势。兼容性需匹配设备接口。

清洁工具包括无尘布和IPA溶液，防止颗粒污染晶圆。防护装备如ESD手环保障操作安全。

综合工具箱提升效率，建议年度审计以更新设备。专业维护工具可延长设备寿命20%以上。