光刻机的制造工艺有哪些关键步骤？

光刻机制造首先从光学系统设计开始，包括镜片和激光器的精密加工。

接下来是机械结构的组装，确保平台稳定性和对准精度。

软件集成是重要环节，用于控制曝光过程和数据处理。

质量控制贯穿全程，通过测试验证设备的性能指标。

最后，进行系统调试和校准，以达到纳米级精度。

制造过程需在洁净环境中进行，避免污染影响。