光刻机维护保养的日常操作规范是什么？

日常维护首先是清洁光学系统，避免灰尘积累影响精度。

定期校准对准机制，确保图案准确。

检查光源和泵浦系统，监测磨损情况。

软件更新和数据备份是预防性措施。

记录维护日志，便于追踪问题。

专业培训操作人员，提高保养效率。