真空腔体维护首选真空计，如Pirani和电离真空计，监测压力变化。电子电工应用中，精度需达0.1 Pa，确保工艺稳定。
泄漏检测工具包括氦质谱仪，快速定位微小裂缝。操作时连接腔体端口，注入氦气扫描焊缝。
清洁工具选用无尘布和异丙醇溶液，避免刮伤内壁。电子行业洁净要求高，工具须符合ESD标准。
紧固工具如扭矩扳手，用于接口螺栓，扭矩值控制在规定范围内防止变形。
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综合维护站包括烘烤炉和泵系统，定期脱气。工具选型时参考制造商手册，预算控制在项目需求的20%内。
定期校准工具可延长腔体使用寿命，减少电子器件污染风险。