气相色谱（GC）是检测四乙基硅烷纯度的首选工具，可分离并定量杂质。配备FID检测器，柱温程序升温法确保分辨率。
核磁共振（NMR）光谱仪用于结构确认，1H-NMR峰位在0.9-1.2ppm处对应乙基质子。样品需溶于CDCl3。
红外光谱（IR）快速筛查功能基团，Si-C伸缩振动在800cm-1附近。便携式IR设备适合现场检验。
Karl Fischer滴定仪测定水分含量，控制在0.1%以下。电导率计辅助评估离子杂质。
相关行业报告
自动化软件整合多工具数据，提供纯度报告。定期校准仪器维持准确性达±0.5%。
实验室应配备通风橱，操作。