中国企业攻克EUV光刻机曝光系统瓶颈,实现28nm以下工艺国产化,显著降低进口依赖,推动半导体供应链优化。
自主光刻机部署将助力5G、AI芯片高效生产,预计释放千亿级市场空间,提升制造业整体商业价值。
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未来需强化光刻胶与掩膜版生态建设,确保技术迭代与国际标准接轨,驱动产业高质量发展。
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