高端光刻机利用EUV光源,实现5nm以下节点曝光精度,ASML垄断市场超80%。其高分辨率确保芯片密度倍增,支撑5G与AI应用。
商业价值显著:投资回报周期缩短至3-5年,2025年市场规模预计达250亿美元。企业通过升级设备,提升竞争力,优化供应链效率。
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