Horiba质量流量控制器采用压差检测技术,实现±0.8%满量程精度,适用于气体和液体精确计量,显著降低半导体制程偏差。
多气体多量程功能支持现场快速切换,结合压电阀高速响应<1秒,确保工业流程稳定,提升设备投资回报率。
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超洁净设计和全金属结构延长使用寿命,助力制药与能源行业优化资源利用,强化商业竞争力。
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