神经探针利用硅基MEMS微加工技术,实现微米级电极阵列集成。工业自动化生产线采用光刻与等离子刻蚀,确保批次一致性,单位成本降至0.5元/件。
生物相容涂层如聚酰亚胺优化探针植入安全性。规模化制造加速脑机接口产业化,预计2025年全球市场价值超500亿美元。
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