MFC气体流量控制器采用热式或压力差原理,精确控制气体流量至0.1%FS精度,适用于半导体蚀刻与CVD工艺,确保工艺稳定性。
在工业应用中,MFC集成数字通信接口,支持远程监控与数据分析,优化气体利用率,降低运营成本达20%以上。
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选用MFC可提升生产良率,符合ISO标准,助力企业实现绿色制造与可持续发展目标。
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