布鲁克拉曼光谱仪在半导体制造中的集成方式？

布鲁克拉曼光谱仪集成到半导体生产线，用于非破坏性材料表征。连接到自动化系统实时反馈。

制造流程中，仪器监测薄膜厚度和组成。软件接口兼容工厂控制系统。

校准协议确保数据准确性。定期验证维持一致性。

故障排除涉及谱图分析，识别缺陷来源。集成提升产量。

与其他分析工具结合，形成综合质量体系。制造企业通过此方式优化过程。