化学气相沉积(CVD)利用前驱体气体在基底表面反应,形成均匀、高纯度薄膜。广泛应用于半导体芯片制造,提高器件集成度和良率,显著降低生产成本。
在工业涂层领域,CVD增强材料耐腐蚀性和硬度,如工具涂层和太阳能电池,提升产品寿命与效率,实现高附加值商业化。
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CVD工艺优化如PECVD变体,进一步缩短沉积时间,适应大规模生产需求,助力制造业向智能化转型。
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