白光干涉仪工作原理解析:工业精密测量的光学利器 - 精密测量仪器 - 国尼卡

白光干涉仪工作原理解析:工业精密测量的光学利器

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摘要:本文详解白光干涉仪基于白光干涉的核心原理及其在工业质量控制中的应用,提升测量精度与效率。

白光干涉仪利用宽谱白光源,通过分束器将光分为参考臂和测量臂。测量光反射样品表面后,与参考光叠加产生干涉条纹,实现亚纳米级位移检测。

干涉仅在白光相干长度内发生,零光程差处形成包络峰。通过扫描样品高度,分析干涉信号相位,实现表面形貌三维重建,提高工业加工精度。

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该技术降低测量误差,支持在线检测,助力制造业优化生产流程,显著提升产品竞争力与成本效益。

发布时间:2025-12-08
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