白光干涉仪利用宽谱白光源,通过分束器将光分为参考臂和测量臂。测量光反射样品表面后,与参考光叠加产生干涉条纹,实现亚纳米级位移检测。
干涉仅在白光相干长度内发生,零光程差处形成包络峰。通过扫描样品高度,分析干涉信号相位,实现表面形貌三维重建,提高工业加工精度。
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该技术降低测量误差,支持在线检测,助力制造业优化生产流程,显著提升产品竞争力与成本效益。
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