高纯气在半导体工业中的供应系统与纯度管理技术

高纯气通过变压吸附和膜分离技术达到99.9999%纯度，工业供应采用不锈钢管线避免污染。

在半导体蚀刻和沉积过程中，确保气体稳定性以提升晶圆良率，符合ISO标准质量要求。