ASML光刻机价格解析及其对半导体制造的投资价值

一台ASML EUV光刻机价格约1.5-2亿美元，视分辨率和产能配置而定，核心部件如光源系统占总成本40%以上。

高昂价格源于精密光学和真空技术，半导体企业需评估ROI，结合政府补贴降低门槛。

投资回报期3-5年，通过提升芯片良率和工艺节点，驱动5nm以下先进制程创新。