中国光刻机制造领军企业概述及技术进展分析

上海微电子装备（SMEE）是中国光刻机领域的龙头企业，已实现90nm光刻机量产，并推进28nm浸没式技术研发，占据国内市场显著份额。

其他企业如ABM Inc.专注于先进封装光刻机，交付全球数百台设备；科益虹源提供准分子激光光源，支持国产光刻机核心部件自主化。

这些企业推动中国光刻机从DUV向更高节点突破，提升半导体产业自主可控能力。