磁悬浮涡轮分子泵：高效真空抽气技术在半导体与科研领域的创新应用与性能优势

磁悬浮涡轮分子泵利用磁悬浮轴承支撑转子，避免机械摩擦，抽速可达数百升/秒，适用于半导体制造和粒子加速器等领域。

其工作原理基于分子动量传递，通过高速旋转叶片将气体分子定向排出，实现10^-7 Pa以下的极限真空。

在维护方面，该泵振动小、寿命长，减少污染风险，提高工业生产线的稳定性和经济性。