精密测量是实现高质量制造的基础,当前主流技术包括激光干涉仪、三坐标测量机和光学扫描系统,测量精度已达亚微米甚至纳米级。
随着工业4.0推进,精密测量正向智能化、在线化方向发展,多传感器融合与AI辅助分析显著提升检测效率与可靠性。
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未来,量子测量技术与极紫外光刻配套的超高精度测量将成为高端装备制造的核心竞争力所在。
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