高精度电阻率测试仪在半导体材料检测中的准确测量技术与校准方法

该测试仪采用四探针法，测量范围达10^-6至10^6欧姆·厘米，确保半导体和薄膜材料的电阻率准确评估。

在应用中，定期校准探针间距和温度补偿，提升数据可靠性，适用于研发和生产线上质量监测。