石英晶体微天平（QCM）在工业薄膜监测中的应用
精密测量仪器
2026-01-12
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摘要：石英晶体微天平通过测量晶体频率变化实现纳克级质量检测，广泛用于真空镀膜、腐蚀监测及材料研究。
QCM利用石英晶体压电效应，当表面沉积物质时振荡频率降低，频率变化与质量呈线性关系，可达ng/cm²级分辨率。
在PVD、CVD薄膜沉积工艺中，QCM实时监控膜厚与沉积速率，显著提高工艺重复性与产品一致性。
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发布时间：2026-01-12
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