真空衰减检漏仪在高洁净密封系统中的精密应用

真空衰减检漏仪通过测量封闭腔体在真空状态下的压力微小变化来判定泄漏率，检测极限可达10⁻⁶~10⁻⁹ Pa·m³/s。

仪器通常集成高精度压力传感器、智能判断算法及自动排气系统，适用于批量在线检测。

相比氦质谱检漏，真空衰减法具有无需示踪气体、设备成本低、维护简单的优势，特别适合中低真空级别的密封检验。