氦气泄漏监测仪在真空与制冷系统中的关键应用

氦质谱检漏仪利用氦气分子量小、惰性、不易吸附的特点，实现10⁻¹³ Pa·m³/s量级的超高灵敏度检测。

广泛应用于半导体制造、空调冰箱冷凝器、航天器燃料系统、核工业气体管路等高要求密封场景。

现代便携式与在线式氦检设备不断提升自动化程度，大幅提高生产检测效率与可靠性。