超纯水技术采用反渗透、离子交换和紫外消毒等工艺,移除水中离子、微生物和有机物,电阻率可达18MΩ·cm以上。
在半导体制造中,超纯水用于清洗晶圆,避免污染物影响芯片性能;在制药领域,确保无菌生产环境。
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优化超纯水系统需监控TOC和颗粒物水平,定期维护设备以降低能耗并延长使用寿命。
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