等离子清洗机的工作原理是什么？

等离子清洗机通过产生等离子体来清洁表面污染物。

1. 等离子体生成：利用射频或微波激发气体，形成离子、电子和自由基。

2. 清洁过程：活性粒子与污染物反应，生成挥发性物质被抽走。

3. 优势：无化学残留，适用于精密部件。