材料选型是精度控制的基础。选择高纯度、低热膨胀系数的合金或陶瓷材料，能减少加工变形。供应商需进行材料成分分析，确保批次间一致性，避免因原料波动影响最终精度。
加工工艺的精细化至关重要。采用CNC数控机床结合激光辅助加工，可将公差控制在微米级。引入环境控制系统，如恒温恒湿车间，防止温度变化导致的热误差。
检测环节应多级实施。从半成品的在线监测到成品的全方位测试，使用坐标测量机（CMM）和激光干涉仪验证参数。建立数据追溯机制，便于分析偏差来源并持续改进。
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工艺流程标准化有助于精度提升。制定SOP（标准操作程序），培训。