电感耦合等离子体-发射光谱仪（ICP-OES）在电子制造中用于实时监控材料成分，其日常维护是有助于仪器稳定运行的基础。操作前，应检查气体流量和真空系统，避免氩气泄漏导致等离子体不稳。
光学系统的清洁至关重要。电子样品常含有机物残留，会沉积在透镜和光栅上，降低光谱分辨率。使用专用溶剂每周擦拭一次，并监测背景信号以检测污染。定期更换霓虹灯和检测器管，以保持灵敏度。
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等离子体炽热区的维护需专业操作。检查火炬和雾化器堵塞，每日冲洗以防晶体析出。在电子制造高通量环境中，建议设置自动化清洗程序，减少人。
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