热式流量计优点在于直接测质量流量，精度高，缺点是受温度影响需补偿，适合电子电工洁净气体。
涡轮式响应快，成本低，但易磨损于含颗粒气体，不宜用于精密电子工艺。
超声波式非接触测量，无压力损失，优点耐脏污，缺点初始成本高，适用于高压电子电工环境。
膜盒式简单可靠，缺点范围窄，限用于低压稳定流量场景。
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对比选型需列矩阵评估精度、响应和维护。电子电工多选热式以匹配高纯度需求。
实际应用中，混合类型可优化系统性能。
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