分子泵故障诊断与专业维修技术要点解析

分子泵转子轴承磨损为常见故障，诊断用振动分析仪监测<0.5mm/s。拆卸清洁磁悬浮组件，重新润滑高真空油。

维修后真空度测试需达10^-6 Pa。定期校准转速控制器，延长寿命至5万小时，适用于半导体真空工艺。