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北京光电所紫外纳米压印光刻机：突破微纳制造瓶颈，提升产业竞争力
北京光电所自主研发紫外纳米压印光刻机，融合高分辨率与低成本技术，推动半导体微纳加工自主化，显著降低生产门槛。
半导体制造
2025-11-08