百级洁净室设计与应用：半导体制造核心环境控制技术

百级洁净室指每立方英尺空气中≥0.5μm颗粒物不超过100个，相当于ISO 5级标准。通过高效过滤器（HEPA/ULPA）、层流气流和正压控制，实现极低颗粒浓度。

设计关键包括FFU风机过滤单元覆盖率达80%以上、风速0.3-0.45m/s垂直层流，以及温湿度精密控制（±0.1℃、±2%RH），以满足工艺需求。

在半导体前段工艺中，百级洁净室可有效降低缺陷率，提升晶圆良率，已成为8英寸及以上先进制程的必备环境。