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28nm国产光刻机突破：浸没式技术国产化率超85%，年底交付提振半导体产业链
上海微电子28nm浸没式光刻机关键部件国产化率达85%以上，预计年底交付，打破进口依赖，推动芯片制造自主化。
半导体工业
2025-11-25