制造过程中纯度检测的常见方法？

在电子电工制造中，原子吸收光谱法（AAS）是常见纯度检测方法，用于金属元素的定量分析。其优点在于操作简便和成本低。

电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）适用于多元素同时检测，广泛用于合金纯度筛查。

对于半导体材料，二次离子质谱（SIMS）提供深度剖析能力，检测表面和内部杂质分布。

在线监测方法如X射线荧光（XRF）便于生产线集成，实现无损快速检测。

选择方法时需考虑样品类型和精度需求。混合使用可提升全面性。

这些方法共同支撑制造过程的质量保障。