校准环境控制在恒温恒湿实验室。设备置于大气压下预热30分钟。
使用主标准流量计作为基准。注入已知高压气体,比较读数差异。
多点校准覆盖全量程。从零流到满量,记录至少5点数据拟合曲线。
误差分析采用最小二乘法。调整系数后,精度目标±0.5%。
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高压模拟需专用腔体。释放气体后,检查泄漏率低于10^-6 mbar l/s。
校准证书包括不确定度评估,符合电子电工 traceable标准。
高压气体流量计校准采用标准气体源和比较法,有助于测量误
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高压模拟需专用腔体。释放气体后,检查泄漏率低于10^-6 mbar l/s。
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