ASML High-NA EUV光刻机针对2nm节点,售价约3.8亿美元(27亿元人民币),较标准EUV翻倍,集成高数值孔径光学系统,提升分辨率至8nm半间距。
高价位凸显商业价值:单机产能翻倍,降低晶圆成本10%,但需巨额资本投入,台积电等巨头优先采购,推动摩尔定律延续。
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市场影响显著:2nm设备稀缺,仅售5台,刺激供应链优化与国产替代研发,平衡创新与经济性。
ASML High-NA EUV光刻机针对2nm节点,售价约3.8亿美元(27亿元人民币),较标准EUV翻倍,集成高数值孔径光学系统,提升分辨率至8nm半间距。
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