技术参数中，分辨率是首要考虑。高い分辨率如小于150eV确保精确区分相近元素，如铁和镍。在电子电工应用中，这对合金分析至关重要。
检测限（LOD）表示仪器能检测的最低元素浓度。通常要求在ppm级别，以满足微量杂质检测需求。选择时比较不同型号的LOD值。
耐用性包括防护等级，如IP54防尘防水。这适合工业环境使用，防止灰尘或液体损坏内部组件。
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扫描速度和数据处理能力也很关键。快速扫描（如每秒多次）提高效率，而内置处理器应支持实时显示结果。
兼容附件如样品支架或扩展探头，可扩展应用范围。采购时评估这些选项是否可用。