石英真空室在半导体加工中的材料特性和应用优势

石英真空室由高纯度石英制成，具有优异热稳定性和低热膨胀系数，适用于高真空条件下。

在半导体制造中，它确保无污染环境，支持等离子体刻蚀和薄膜沉积，提高产品良率。