分辨率是首要指标，Mn Kα线分离需<200eV，确保电子材料中相邻元素区分。低分辨率易导致谱峰重叠，影响定量。
检测限决定微量元素能力。针对电子电工的ppm级重金属，仪器应达10ppm以下。参考供应商的LOD数据和验证报告。
集成性包括接口兼容，如USB或Ethernet，支持LIMS系统。电子采购中，需评估软件的导出格式和API可用性。
稳定性测试通过连续运行评估，漂移率<0.5%/小时。考虑电源波动对仪器的耐受性。
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配件齐全度如样品台和滤光片，直接影响应用灵活性。预算分配中，性能占60%，服务占40%。
最终。