如何评估光刻机供应商的可靠性？

选择光刻机供应商时，首先审视其技术资质和技术团队背景。知名供应商通常拥有专利技术，能提供定制化解决方案。

其次，考察供应商的生产经验和历史业绩。通过查看案例和客户反馈，了解设备在实际应用中的表现。

供应商的供应链稳定性也很重要，包括零部件采购和交货周期，以避免生产中断。

售后服务体系是关键因素，包括设备安装、培训和维修支持，确保设备长期稳定运行。

最后，比较多家供应商的价格和合同条款，选择性价比高的合作伙伴。