光刻机采购过程中需要注意哪些技术参数？

分辨率是光刻机最重要的参数，直接决定图案精细度。采购时应根据芯片制程要求选择合适的分辨率水平。

光源类型影响设备的适用范围，如DUV或EUV光源，需评估其波长和能量输出。

产能参数包括处理速度和吞吐量，对于大规模生产的企业尤为关键。

此外，设备的兼容性和扩展性需考虑，便于未来升级和集成其他系统。

采购前进行现场测试和数据验证，确保参数符合实际需求。

最后，注意设备的能耗和维护成本，以控制长期运营费用。