氦质谱检漏仪工作原理详解：高精度真空泄漏检测技术核心

氦质谱检漏仪通过离子源电离气体，磁场分离不同质荷比离子，仅收集质量数4的氦离子，实现精准检测。

常见方法包括喷氦法与吸氦法，氦气因本底低、分子小、惰性强，成为理想示踪气体，检漏下限极低。

仪器结合涡轮分子泵维持高真空，自动校准与量程切换，确保在真空设备、管道、容器等领域可靠应用。