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光刻机光学系统：精密成像核心技术驱动半导体产业商业升级
光刻机光学系统通过高NA透镜与EUV光源，实现纳米级图案转移，提升芯片产量并降低成本，推动半导体市场价值超千亿。
半导体制造
2025-11-07