精度定义为测量值与真值的偏差。薄膜行业标准要求±1%全量程，高端应用更严。
影响精度的因素包括环境温度和振动。仪器内置补偿机制维持稳定性。
选型时，实验室需亚微米级，工业线可放宽至微米级。验证通过标准块。
提升精度方法如多点校准，减少系统误差。数据处理滤波算法辅助。
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不符合精度将导致生产缺陷，增加成本。定期审计仪器性能。
了解要求有助于优化采购决策。
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